高潔淨

● 適合應用在乾式蝕刻製程，可應用在大部份的有機溶劑、酸類、鹼類與特殊氣體，均能表現出極優異且穩定之特性。

● 擁有極佳表面特性，經使用後，不易產生表面沾黏現象。

● 具有優異的物理特性，並採用獨家專利之聚合技術，大幅提高裂解溫度性能(無氧環境TGA測試)。

● 連續操作溫度可達320℃

耐腐蚀

● 在濕式製程環境，對於產品清潔度與物理特性，均能表現出極優異且穩定之特性。

● 採用獨家專利之聚合技術，大幅提高產品潔淨度。

● 針對酸類、鹼類、胺類與其他化學溶劑等，均能表現出優異的耐受性(Chemical Resistance)。

● 對於在鋁件接著應用上，搭配專利接著技術，可應用於閉合閘門密封件(Bonded Gate Seals, Slit Valve Seals)。

● 亦能充分表現出本產品之優異性能。

耐高温

● 適合應用在乾式蝕刻製程，與濕式蝕刻製程適用之化學品如：HCl, HNO3, HF等。

● 並且對於大部分的有機溶劑、酸類與鹼類，均能表現出極優異且穩定之特性。

● 優異的高溫彈性回復性能。

● 擁有優異的物理特性，並採用專利之聚合技術大幅提高裂解溫度性能(無氧環境TGA測試)。

● 大幅提高裂解溫度性能(無氧環境TGA測試)。

● 連續使用溫度可達315℃

● 對於在鋁件接著應用上，搭配專利接著技術，可應用於閉合閘門密封件(Bonded Gate Seals, Slit Valve Seals)亦能充分表現出本產品之優異性能。